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壓力傳感器在使用時有哪些誤差是不可避免的?
時間: 2019-04-22 09:21:19 瀏覽次數:
壓力傳感器在使用時有哪些誤差是不可避免的?

  1、線性誤差

  線性誤差對力傳感器的誤差影響也是比較小的,這個誤差產生的原因是由于硅片的物理非線性。線性誤差曲線可以是凸形曲線,也可以是凹形曲線。對于帶放大器的傳感器,還會包括放大器的非線性。壓力傳感器的這四個誤差是不能避免的,其中,靈敏度誤差和偏移量誤差對于力傳感器的影響較大,而滯后誤差和線性誤差對其的影響是很小的,甚至滯后誤差是可以忽略不計的。因此,我們在選擇高精度的力傳感器時,要利用高新的技術來盡量降低這些誤差,另外,還可以在設備出廠的時候,進行誤差校準,來盡可能的降低誤差,滿足用戶和生產的需要。

  2、靈敏度誤差

  該誤差產生的原因是擴散過程的變化。靈敏度產生誤差的大小是和壓力成正比的。如果壓力傳感器的靈敏度低于典型的值的話,那么靈敏度的誤差將是壓力的遞減函數;如果壓力傳感器的靈敏度大于典型的值,那么這個靈敏度的誤差將會是壓力的遞增函數。

  3、滯后誤差

  在大多數的情況下,壓力傳感器的滯后誤差是可以忽略不計的。為什么呢?因為硅片具有很強的機械剛度,通常只需要在壓力變化很大的情況下,才會考慮滯后誤差。

  4、偏移量誤差

  由于壓力傳感器在整個的壓力范圍內,其垂直偏移都是保持恒定的,因此激光調節修正和變換器擴散的變化,將會產生偏移量誤差。

 
 
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