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壓力傳感器的過載保護措施
時間: 2020-05-23 10:07:35 瀏覽次數:
壓力傳感器有許多參數,其中一個是過載保護。過載是指負荷過大,超過設備本身的額定負荷。現象是電流太大,電氣設備發熱。過載保護是指即使負荷超過額定負荷也不會出現線路燒毀的情況,但有某一程度,一般在150%的范圍內,且不能繼續過載工作。
目前,小量程、高靈敏度壓力傳感器的研究熱點集中在具有犧牲層結構的壓力傳感器上。這主要是因為具有犧牲層結構的壓力傳感器彈性膜片很薄,厚度可以達到2米,甚至更薄。在這種薄膜結構上,如果擴散硅壓力傳感器或多晶硅薄膜作為犧牲層結構的應變電阻,其厚度相對較大,對膜片的彈性應力分布有很大影響,不利于壓力傳感器犧牲層結構的性能優化,因此多晶硅納米薄膜的制備應變電阻更能發揮犧牲層技術的優勢。
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